Tegal 903e

Kaset-to-Kaset In-line Tek Gofret Plazma yakıcısı. Etch vialar ve kişilere Yeteneği. Silikon dioksit, silikon nitrit, ve poliamidler dağlama için. Sistem düzgün kolaylaştırma ve işletimi ile ilgili konsültasyon ile satılmaktadır. Sistem operasyonel ve Mesa, Arizona Müşteri Destek Merkezi gösterilebilir. Çeşitli yükseltmeleri kendi özel ihtiyaçlarına uyacak şekilde mevcuttur.

3 inç arası inç Şu gofret 4 inç için yapılandırılmış 6 gofret işleyebilir.

  • Mikroişlemci kontrolü
  • Şu anda 4 inç (100mm) gofret için yapılandırılmış.
  • ENI 1000 Watt 13,56 MHz RF Jeneratör.
  • 20 Süreç tarifi yeteneği
  • Tylan MFC'ın tarafından kontrol Proses gazları
  • Sigara sürtünme spatula alıp yerine gofret taşımacılığı.
  • Leybold D65 oksijen hizmeti pompası (isteğe bağlı kuru pompası mevcuttur)
  • İki Tegal kapalı döngü sıcaklık kontrolörleri
  • Aralık Monitör ve klavye
  • Sigara sürtünme spatula alıp yerine gofret taşımacılığı.
  • Kılavuzlar dahil, 208 V, 50/60 Hz

(Satış bekleyen)