Плазмові очищувачі, плазмові офортистів, плазмові Ashers і напилення (PVD) системи забезпечують світіння досліджень. Glow досліджень виробляє AutoGlow плазмових систем, OptiGlow плазмових систем і SputterGlow напилення (PVD) систем. Glow досліджень взяла на себе частини і підтримку по всьому світу протягом кількох старших плазмових системах з Nordson БЕРЕЗНЯ (Plasmod, Super Plasmod, ПМ-600, Юпітер РІТ) та будує нові реактори плазми для різних вимог і розмірів. Ми розуміємо, що більшість лабораторій і люди, які купують плазмові системи вимагають велику допомогу до і після продажу. У нас є можливість запустити свої зразки, і допомогти з установкою системи. Glow дослідження буде обробляти вільні зразки для клієнтів, які можуть хочете придбати наші системи.

Правильний вибір системи:

OptiGlow-кімнатне повітря використовується в якості технологічного газу, 50 Вт, 100 кГц, алюміній камери. Для модифікації поверхні. Наша низька ціною системи $ 11,000 (включаючи вакуумний насос).

OptiGlow 75 для використання з киснем або аргону (та інших газів), 75 Вт, 100 кГц, алюміній камери. Для модифікації поверхні, плазмової очищення, prebond лікування.

OptiGlow АПФ для використання з киснем, аргоном або фтор (CF4) тип газу. Два газу витратоміри, анодований алюміній камери. Змінний від 10 до 150 Вт 13,56 МГц ВЧ-генератора, автоматичної настройки. RIE або плазмової обробки. Для активації, озолення, очищення і травлення. Ідеально підходить для видалення шарів Failure Analysis, травлення різних фільмів.

AutoGlow-до трьох газів, кисню, аргону та інших газів, кварц камеру, 6 "субстратів, змінний від 10 до 300 Вт 13,56 МГц ВЧ-генератора, автоматичної настройки. Ємнісна зв'язок, кнопка автоматичного управління. Використовується для плазмового очищення, prebond, травлення плівок, видалення органіки, видалення фоторезисту.

AutoGlow 200 може обробляти 200 мм підкладки (або 8 "пластинах). RIE або плазмової обробки. До трьох газів, кисню, аргону і фтору (CF4) тип газу, змінний від 10 до 300 Вт 13,56 МГц ВЧ-генератора, автонастройки, анодований алюміній камери. Використовується для плазмового очищення, активації, prebond, травлення, видалення органіки, видалення фоторезисту.

AutoGlow плазмові системи

Плазмові Cleaner. Ця настільна система може бути використана при низькій потужності 10 Вт і до 300 Вт, 13,56 МГц твердого стану генератора, автоматичної настройки, тиск зчитування, продувки азотом, м'які вентиляції, три входи газу і має маркування CE. AutoGlow поставляється з 24-місячна гарантія. Ідеально підходить для лікування PDMS, видалення органічних або фоторезист видалення. Має кварцову камеру і може обробляти до 6 "(150 мм) підкладках.

Система AutoGlow плазма використовується у виробництві заводу, а також лабораторій, призначені для забезпечення медичних, наукових, освітніх і мікроелектроніки спільно з плазмової технології при помірній вартості. Включає в себе 2-річна гарантія.

Більші системи AutoGlow доступні з анодованого алюмінію камери, щоб відповідати вимогам Замовника (РІТ або плазмової обробки). На фото нижче AutoGlow 200. Призначений для до 200 мм (8 ") підкладках або пластин, CF4, O2 або аргону, система може бути використана для RIE або плазмової обробки в залежності від зразка носія Ви використовуєте. Він має камеру анодованого алюмінію і може бути використаний для modificaiton травлення, озолення або поверхні.

Дізнайтеся більше про AutoGlow

OptiGlow плазмових системах  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE призначений для виконання плазмової ctivation, Шинг, C або E толку факторів, що дозволяють на частоті 13,56 МГц. OptiGlow ACE має два входи газу і може бути використаний з повітрям, киснем або CF4 газів типу. Він має камеру анодованого алюмінію і може бути використаний як для RIE або плазмової обробки. Відмінно підходить для тривалого процесу та видалення шару на упаковці або напівпровідникових чіпів. Використовується для Failure Analysis, видалення фоторезисту, очистки органічних речовин, травлення Parylene, обробка поверхні і безліч інших застосувань.

Стандартна система OptiGlow використовується для плазмової модифікації поверхні і плазмової обробки, поверхня активації. Оцінений в $ 10,500 (USD), міцний, настільний OptiGlow плазми система ідеально підходить для виробництва або лабораторії додатків. Легкий у використанні з дисплеєм для камери тиску та стану модуля.

Система OptiGlow перший низький плазми витрати, які можуть бути використані для підвищення змочуваності і зручність контактних лінз. Система OptiGlow плазми також ідеально підходить для використання перед нанесенням покриття, ламінування та осадження, а також дуже ефективні при лікуванні широкого спектра підкладки або матеріалу.

OptiGlow 75 плазмових система схожа на стандартну OptiGlow і має великий алюмінієвої камери, 75 Вт і можливість використовувати до двох вхідних газів, таких як кисень і аргон. Може бути використаний для видалення органічних і зняття фоторезиста.

SputterGlow напилення системи

Ідеальний вибір для нанесення широкого спектра діелектриків і металів, з трьома цілями. Спочатку розроблений для нанесення Si 3 N 4 антиблікове покриття на сонячних батареях в якості альтернативи використання ПХО, тому що процес SputterGlow не вимагає небезпечних газів, таких як SiH 4 нітриду осадження. Система має кроковий робототехніки, підігрів станції, і управляється за допомогою портативні комп'ютера.

Майнові плоского магнетрона генерується плазма з низькою або високої потужності, в залежності від ваших потреб. SputterGlow був розроблений для забезпечення цілісності процесу вакуум і використовувати алюмінієву камеру (щоб зберегти вартість вниз).

Дізнайтеся більше про SputterGlow

Відновлені системи

Glow досліджень взяла на себе всьому світу відповідальність запасних частин та обслуговування протягом декількох старих установок від Nordson березня (березень Plasmod березня Супер Plasmod березня ПМ-600 і березні Юпітер RIE системи). Ми залишаємося з нашим досвідом і пропозиції відновлений березня Tegal плазмових систем. Погляньте на те, що відновлені системи ми можемо запропонувати .