Плазмові очищувачі, Плазмовий офортистів, плазмові Ashers і напилення (PVD) систем забезпечуються Glow досліджень. Glow досліджень виробляє нових плазмових AutoGlow очищувач / гравер, OptiGlow плазмових систем і SputterGlow напилювання (PVD) систем. Glow Дослідження також взяла на частини і підтримку в усьому світі протягом кількох старих систем плазми від Nordson БЕРЕЗНЯ (Plasmod, Super Plasmod, ПМ-600, Юпітер РІТ) та будує нові реактори плазми для різних вимог і розмірів. Ми розуміємо, що в більшості лабораторій, і люди, які купують плазмові системи вимагають велику допомогу до і після продажу. У нас є можливість запускати свої зразки, а також допомогти з установкою системи. Glow досліджень буде обробляти безкоштовні зразки для клієнтів, які можуть хотіти купити наші системи.

AutoGlow Плазмові системи

Плазмові Cleaner. Може бути використаний при низькій потужності 10 Вт і до 300 Вт, 13,56 МГц твердому стані генератора, автоматична настройка, тиск зчитування, продувки азотом, м'які вентиляції, три входи газу і має маркування СЕ. AutoGlow поставляється з 24-місячна гарантія. Ідеально підходить для лікування PDMS, видалення органічних або фоторезист видалення.

Система AutoGlow плазма використовується у виробництві заводів, а також лабораторій, призначені для забезпечення медичних, наукових, освітніх і мікроелектроніки спільно з плазмової технології при помірній ціні. Включає в себе 2-річна гарантія.

Більш великі системи AutoGlow доступні з анодованого алюмінію камери, щоб відповідати вимогам замовника. AutoGlow системи може обробляти 200 мм (8 ") пластин.

Дізнайтеся більше про AutoGlow

SputterGlow розпиленням системи

Ідеальний вибір для нанесення діелектриків і металів з трьома цілями. Спочатку розроблений для нанесення Si 3 N 4 антиблікове покриття на сонячних елементах, як альтернатива використанню PECVD, тому що процес SputterGlow не вимагає небезпечних газів, таких як SiH 4 для нітриду осадження. Система крокового робототехніки, підігрів станції, і управляється за переносний комп'ютер комп'ютер.

Власності плоского магнетрона генерується плазма з низькою або високої потужності в залежності від ваших потреб. SputterGlow був розроблений, щоб забезпечити цілісність процесу і використовувати вакуумну камеру алюмінію (щоб зберегти вартість вниз).

Дізнайтеся більше про SputterGlow

OptiGlow плазмових системах

Використовується для плазмової модифікації поверхні та плазмової обробки, поверхня активації. Оцінений в $ 10,500 (USD), міцний, настільний OptiGlow плазмової системи ідеально підходить для виробництва або лабораторії додатків. Простота у використанні. Дисплей для камери тиску та стану модуля.

Система OptiGlow є першим низькою плазмової системи витрат, які можуть бути використані для підвищення змочуваності і комфорт контактних лінз і різних матеріалів. Система OptiGlow плазми ідеально підходить для використання перед нанесенням покриття, ламінування та осадження, і дуже ефективні при лікуванні широкого кола субстратів або матеріалу. Використовується в Біо MEMS і Microfluidics.

OptiGlow 75 плазмових система, як стандартний OptiGlow, але з 75 ват потужності і можливість використовувати до двох вхідних газів, таких як кисень або аргон.

leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE призначений для виконання Шинг, C або E спираючись Чин на частоті 13,56 МГц. OptiGlow ACE призначена для двох входів і газів можна використовувати з CF4 газів типу. Анодованого алюмінію і камери для будь RIE або плазмовий умовах. Відмінно підходить для тривалого процесу і видалення шарів на пакети або напівпровідникових чіпів.

OptiGlow ACE (чистка, озоленія, травлення)

Дізнайтесь більше про системи OptiGlow

Відновлені системи

Glow досліджень взяла на себе всесвітню відповідальність запасних частин та обслуговування протягом декількох старих установок від Nordson БЕРЕЗНЯ (березень Plasmod березня Супер Plasmod березня ПМ-600 і березні Юпітера RIE системи). Ми залишаємося з нашим досвідом і пропонувати відновлений березні і Tegal плазмових систем. Погляньте на те, що відновлена ​​системи ми можемо запропонувати .