AutoGlow плазмових системах

Система AutoGlow плазмі хімії настільний плазмовий реактор призначений для забезпечення медичних, наукових, освітніх і виробництво мікроелектроніки спільно з плазмової технології при помірній вартості. Система використовується у виробництві, а також R & D центрів. Використовується для аргонової плазми, кисневої плазми, плазмових покриттів, PDMS, лікування киснем плазми, фоторезиста зачистки, Ф. додатків, Parylene видалення, видалення органічних і лабораторного використання.

Університети та компанії у всьому світі знайти систему AutoGlow плазми ідеально підходить для їх потреб плазми.

Система AutoGlow плазма є найефективнішою системою в своєму роді на ринку, тому що його змінний 10 Вт до 300 Вт, 13,56 МГц твердих генератор держави. Система AutoGlow плазми також призначений для ефективного пробою газів представлена ​​система створення активних форм, який дозволяє швидко очистити або модифікувати зразка. Автоматична настройка і зчитування тиску включені. AutoGlow може вдарити плазми на рівні 10 Вт!

Автоматичний / натискання кнопки.

Glow досліджень зайняв кращий дизайн старої системи, і оновлення системи AutoGlow плазми з урахуванням сучасних технологій, у тому числі наш власний детектор величина фази і SimpleMatch РФ мережу, яка дозволяє ефективно настройки плазми і забезпечує швидку обробку без проблем постійно пристосовуватися до різних зразка навантаження. AutoGlow дуже надійний і має дворічну гарантію! Легко Змінювані модулів в системі: ВЧ генератор, РФ матчу мережі, модуль лицьової панелі (див. нижче), кварцовий палати і модуль управління для газу більше даних та інформації, будь ласка, натисніть на кнопку "Особливості AutoGlow" справа на цій сторінці. .

Ось те, що останні клієнтів було говорити про їх AutoGlow: «Все працює нормально. Це тільки гальмує разом як слід. Я вражений, ми можемо майже повністю попелу AZ4620 опір на 125 Вт протягом декількох хвилин. У мене хтось і використовувати його для попередньої обробки PDMS до зв'язку. Чудово підходить для цього. "
 
AutoGlow 200 призначена для до 200 мм підкладках або 8 ", вафлі, і може виконувати RIE або плазма обробки, в залежності від зразка носій використовується. Анодований алюміній камера може accomidate стандартний O2, Ar або CF4 газів типу для травлення додатків. Добре зарекомендували себе електронні, ВЧ-генератора, відповідні мережі і газового контролю так само, як стандартний AutoGlow вище. Будь ласка, зв'яжіться з Glow досліджень для отримання додаткової інформації про AutoGlow 200.
AutoGlow 200 має той же статус, діагностичну карту AutoGlow який підтверджує, що всі дочірні модулі працюють правильно. Системи Справа
показано з додатковою продувки камери вентиляційні азоту.
AutoGlow 200 може бути використаний для Різноманітність додатків від активації плазмою, очищення, видалення органічних, попереднє осадження очищення   а також різні додатки травлення.
 
 
 
 
 

Массачусетський технологічний інститут має AutoGlow в центрі Stata, який використовується для різних біомедичних і мікрофлюідікі досліджень. На фото це Джеральдіна Паулюс, аспірант, відповідального за AutoGlow в Массачусетському технологічному інституті Будівля 66 (будівля лабораторії Ландау).

 
 
 

"Університет Райс має AutoGlow в Халас Research Lab. Ця система використовується для видалення полімерних резистів для застосування в плазмонікі і нанофотоніки. На фото це Ліза Браун, докторант, який використовує AutoGlow для підготовки зразків для гігантського молекулярної спектроскопії. "

AutoGlow Гарвардського університету в системі Гордон Маккей Lab. Система використовується для видалення органічних, модифікації поверхні і обслуговує потреби декількох дослідників, що працюють на дослідження ДНК і розшифрування генома людини. На фото це Гордон Уітлок, президент Glow досліджень.

На фото це AutoGlow на Microsystems Technology Lab в Массачусетському технологічному інституті. Це AutoGlow використовується для видалення фоторезисту, очистки та модифікації поверхні. Ця лабораторія проводить дослідження в MEMS, BioMEMS, нанотехнології та фотоніки.