Особливості SputterGlow

• Реактивна напилення з Si ₃ N ₄ або інші фільми
• Виключає необхідність Силан газу
• Легко сприяння в лабораторії немає небезпечних газів необхідні
• До трьох цілей
• Депозит діелектриків і металів
• 200 мм пластин (або менше) або 156 мм х 156 мм сонячних батарей
• Опалення параметри (до 400 градусів С)
• 1200 Вт, 13,56 МГц ВЧ генератор
• Автоматична настройка
• Turbo і резервним насосом
• З водяним охолодженням магнетронного розпилення
• Кроковий контрольованої обробки субстрату
• Комп'ютер або ручне управління Датчики
• MFC контролю газів
• Світлодіодна діагностика

Опції

• Підстава зміщення
• RGA
• Рециркуляції цільової охолодження
• Viewport для Windows

Всі SputterGlow системи поставляється з ручною 12-місячна гарантія, власника, відео з належної налаштування системи і операції. Glow Дослідження також забезпечить на місці польової служби підтримки для запуску системи.

Для отримання додаткової інформації телефонуйте Glow досліджень США 480-621-8405 або напишіть нам .