Cân các loại Plasma, Plasma Etchers, Ashers Plasma và bắn mực lên Deposition (PVD) hệ thống được cung cấp bởi nghiên cứu Glow. Glow Nghiên cứu sản xuất hệ thống AutoGlow plasma, hệ thống OptiGlow plasma và SputterGlow bắn mực lên hệ thống lắng đọng (PVD). Glow Nghiên cứu đã thực hiện trên các bộ phận và hỗ trợ trên toàn thế giới cho một số hệ thống plasma cũ từ Nordson MARCH (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter Rie) và xây dựng các lò phản ứng plasma mới cho các yêu cầu khác nhau và kích cỡ. Chúng tôi hiểu rằng hầu hết các phòng thí nghiệm và những người mua các hệ thống plasma đòi hỏi phải có rất nhiều hỗ trợ trước và sau bán hàng. Chúng tôi có khả năng chạy các mẫu của bạn, và hỗ trợ cài đặt của hệ thống của bạn. Glow nghiên cứu sẽ xử lý MẪU miễn phí cho những khách hàng có thể muốn mua các hệ thống của chúng tôi.

Lựa chọn hệ thống phải:

OptiGlow sử dụng không khí phòng như quá trình khí, 50 watt, 100 kHz, buồng nhôm. Đối với bề mặt thay đổi. Hệ thống có giá thấp nhất của chúng tôi dưới $ 11.000 (bao gồm các máy bơm chân không).

OptiGlow 75 cho sử dụng với oxy hoặc argon (khí), 75 watt, 100 kHz, buồng nhôm. Đối với bề mặt thay đổi, huyết tương, làm sạch prebond điều trị.

OptiGlow ACE để sử dụng với oxy, argon hoặc flo (CF4) loại khí. Hai khí lưu lượng kế, anodized nhôm buồng. Biến 10 đến 150 watt 13,56 MHz RF máy phát điện, tự điều hưởng. Rie hoặc plasma chế biến. Để kích hoạt, ashing, làm sạch và khắc. Rất lý tưởng để loại bỏ lớp Phân tích thất bại, sự mài mòn một loạt các bộ phim.

AutoGlow-ba khí oxy, argon hoặc các loại khí khác, buồng thạch anh, 6 "chất nền, biến 10 đến 300 watt 13,56 MHz RF máy phát điện, tự điều hưởng. Ghép điện dung, hoạt động đẩy nút tự động. Được sử dụng để làm sạch huyết tương, prebond, bộ phim khắc axit, loại bỏ các chất hữu cơ, loại bỏ cản quang.

AutoGlow 200 có thể xử lý 200 nền mm (8 "bánh xốp). Rie hoặc plasma chế biến. Lên đến ba loại khí oxy, argon hoặc flo (CF4) loại khí, biến 10 đến 300 watt 13,56 MHz RF máy phát điện, tự điều hưởng, nhôm anodized buồng. Được sử dụng để kích hoạt huyết tương, làm sạch, prebond, khắc axit, loại bỏ các chất hữu cơ, loại bỏ cản quang.

Hệ thống AutoGlow Plasma

Plasma Cleaner. Hệ thống bảng có thể được sử dụng ít điện năng 10 watt hoặc lên tới 300 watt, 13,56 MHz máy phát điện nhà nước vững chắc, điều chỉnh tự động, áp lực đọc ra, thanh lọc nitơ, trút mềm, ba đầu vào khí và CE đánh dấu. AutoGlow đi kèm với bảo hành 24 tháng. Hoàn hảo để điều trị PDMS, hữu cơ loại bỏ hoặc loại bỏ hình ảnh chống lại. Có một buồng thạch anh và có thể xử lý lên đến 6 "(150 mm) chất nền.

Hệ thống AutoGlow huyết tương được sử dụng trong các nhà máy sản xuất cũng như các phòng thí nghiệm được thiết kế để cung cấp cho cộng đồng y tế, khoa học, giáo dục và vi điện tử với công nghệ plasma tại một chi phí vừa phải. Bao gồm một bảo hành 2 năm.

Hệ thống AutoGlow lớn hơn là có sẵn với các Phòng nhôm anodized để phù hợp với yêu cầu của khách hàng (Rie hoặc Plasma xử lý). Trong hình dưới đây là một AutoGlow 200. Thiết kế lên đến 200 mm (8 ") chất nền hoặc các tấm wafer, CF4, O2, Ar khí, hệ thống có thể được sử dụng cho Rie hoặc xử lý plasma phụ thuộc vào nhà cung cấp dịch vụ mẫu mà bạn sử dụng. Nó có một buồng nhôm và có thể được sử dụng cho modificaiton ashing khắc, hoặc bề mặt.

Tìm hiểu thêm về AutoGlow

OptiGlow Plasma  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. ACE OptiGlow được thiết kế để thực hiện Plasma Một ctivation, A shing, C nghiêng hoặc E tching 13,56 MHz. ACE OptiGlow có hai đầu vào khí và có thể được sử dụng với ôxy, không khí, hoặc CF4 khí loại. Nó có một buồng nhôm và có thể được sử dụng cho một trong hai Rie hoặc Plasma xử lý. Tuyệt vời cho một quá trình lâu dài và loại bỏ các lớp trên bao bì hoặc chip bán dẫn. Được sử dụng để phân tích thất bại, loại bỏ cản quang, làm sạch hữu cơ, khắc Parylene, xử lý bề mặt và một loạt các ứng dụng khác.

Hệ thống OptiGlow tiêu chuẩn được sử dụng cho Sửa đổi bề mặt Plasma và điều trị Plasma, bề mặt kích hoạt. Giá dưới $ 10.500 (USD), mạnh mẽ, bảng OptiGlow plasma hệ thống là hoàn hảo cho các ứng dụng sản xuất hoặc phòng thí nghiệm. Dễ dàng sử dụng với một màn hình hiển thị áp suất buồng và tình trạng mô-đun.

Hệ thống OptiGlow là chi phí thấp đầu tiên plasma hệ thống có thể được sử dụng để tăng wettability và thoải mái của kính áp tròng. Hệ thống OptiGlow plasma cũng là lý tưởng cho sử dụng trước khi sơn, cán và quá trình lắng đọng, và có hiệu quả cao trong việc điều trị một loạt các chất nền hoặc vật liệu.

OptiGlow 75 plasma hệ thống tương tự như OptiGlow tiêu chuẩn và có một buồng nhôm lớn, 75 watt điện năng và tùy chọn để sử dụng hai loại khí đầu vào, chẳng hạn như oxy hoặc argon có thể được sử dụng để loại bỏ hữu cơ và cản quang tước.

SputterGlow bắn mực lên hệ thống lắng đọng

Một sự lựa chọn hoàn hảo để gửi một loạt các chất điện môi hoặc kim loại, với ba mục tiêu. Ban đầu được thiết kế để gửi Si 3 N 4 lớp phủ chống phản xạ trên các tế bào năng lượng mặt trời như là một thay thế cho sử dụng PECVD bởi vì quá trình SputterGlow không yêu cầu các loại khí nguy hiểm chẳng hạn như Sih 4 để lắng đọng nitride. Hệ thống này có bước người máy, trạm nước nóng, và được điều khiển với một máy tính lap-top.

Magnetron phẳng độc quyền tạo ra một plasma với năng lượng thấp hoặc cao, tùy thuộc vào nhu cầu của bạn. SputterGlow được thiết kế để đảm bảo tính toàn vẹn chân không xử lý và sử dụng một buồng nhôm (để giữ cho chi phí xuống).

Tìm hiểu thêm về SputterGlow

Xây dựng lại hệ thống

Glow Nghiên cứu đã thực hiện trên các trách nhiệm trên toàn thế giới cho các bộ phận và dịch vụ cho một số đơn vị cũ từ Nordson MARCH (tháng Plasmod, Super Plasmod, PM-600 và tháng ba hệ thống sao Mộc Rie). Chúng tôi ở lại với chuyên môn và cung cấp của chúng tôi xây dựng lại hệ thống tháng ba và Tegal plasma. Hãy nhìn vào hệ thống những gì xây dựng lại, chúng tôi có cung cấp .