SputterGlow tính năng

  • Phản ứng bắn mực lên lắng đọng của Si 3 N 4 bộ phim khác
  • Loại bỏ sự cần thiết đối với khí Silane
  • Tạo điều kiện thuận lợi trong phòng thí nghiệm, không khí nguy hiểm cần thiết
  • Ba mục tiêu
  • Chất điện môi hoặc kim loại tiền gửi
  • (200 mm Dạng bánh mỏng hoặc nhỏ hơn) hoặc mm 156 x 156 mm Pin mặt trời
  • Tùy chọn hệ thống sưởi ấm (lên đến 400 Degrees C)
  • 1200 Watt, 13,56 MHz RF Máy phát điện
  • Tự động Điều chỉnh
  • Bơm Turbo và Sao
  • Làm mát bằng nước magnetron sputtering
  • Xử lý Substrate bước kiểm soát
  • Máy tính hoặc điều khiển bằng tay của Đồng hồ đo
  • MFC kiểm soát các khí
  • LED chẩn đoán

Tùy chọn

  • Chất nền Bias
  • RGA
  • Tuần hoàn làm lạnh mục tiêu
  • Khung nhìn của Windows

Tất cả các hệ thống SputterGlow đi kèm với hướng dẫn sử dụng bảo hành 12 tháng, chủ sở hữu, video theo đúng thiết lập của hệ thống và hoạt động. Glow Nghiên cứu cũng sẽ cung cấp cho lĩnh vực dịch vụ trên trang web hỗ trợ cho việc khởi động của hệ thống.

Để biết thêm thông tin xin vui lòng gọi Glow nghiên cứu Mỹ 480-621-8405 hoặc Email cho chúng tôi .