发光研究 - 等离子系统，所有的等离子清洗灰化，或蚀刻需求

等离子清洗机，等离子蚀刻机，等离子Ashers和溅射沉积（PVD）系统是由发光研究。发光研究制造新的AutoGlow血浆清洁/蚀刻，OptiGlow等离子系统和SputterGlow溅射沉积（PVD）系统。发光研究还采取了一些旧的等离子系统的部件和世界的支持，从诺信3月（Plasmod，超级Plasmod，PM - 600，木星RIE）和建立的各种要求和尺寸的新的等离子反应堆。据我们了解，大多数实验室和人民购买等离子系统的销售前后需要大量的援助。我们有能力来运行你的样品，并协助安装与您的系统。发光研究过程可能想购买我们的系统为客户免费提供样品 。

AutoGlow等离子系统

电浆清洗 。可用于低功率高达300瓦，10瓦，13.56 MHz的固态发生器，自动调节，压力读出，氮气吹扫，软通风，三气输入，并贴有CE标志。 AutoGlow来自24个月的保修。适合治疗的PDMS，有机物的去除或光阻去除。

AutoGlow血浆系统采用的是生产工厂以及实验室设计提供社会医疗，科研，教育和微电子等离子技术在一个适度的成本，包括2年的保修。

较大的AutoGlow系统可与铝阳极氧化室，以适应客户的要求。 AutoGlow系统可以处理200毫米（8英寸）晶圆。

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SputterGlow溅射沉积系统

一个完美的选择存款电介质或金属与三个目标。最初的设计Si _{3 N 4的}的防反射涂层沉积在太阳能电池作为替代使用的PECVD - SputterGlow过程中， 因为不需要_SIH 4，如危险气体氮化物沉积。该系统具有步进机器人，加热站，和一个手提电脑的控制。

专有的平面磁控生成一个具有高或低功率取决于你的需要的血浆。 SputterGlow是设计，以确保过程的真空的完整性和利用铝室（降低成本）。

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OptiGlow等离子系统

用于等离子体表面改性和等离子体处理，表面活化 。售价$ 10,500（美元）以下的，坚固，表顶部OptiGlow等离子系统是生产或实验室应用的理想选择。易于使用。腔压力和模块状态的显示。

OptiGlow系统是第一个低成本等离子系统，可用于增加隐形眼镜和各种材料的润湿性和舒适。 OptiGlow等离子系统使用之前涂层，覆膜和沉积过程的理想选择，是非常有效的治疗基板或材料的广泛。用于生物微机电系统（MEMS）和微流体。

OptiGlow 75等离子系统的标准OptiGlow一样，但与75瓦的功率和选项使用两个输入气体，如氧气或氩气，。

leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE是执行一成，C倚在13.56MHz 或 E tching。 OptiGlow ACE是两种气体输入，并且可以使用CF4的类型气体。阳极氧化铝室和RIE或等离子体条件。一个漫长的过程，并在包装上或半导体芯片消除层大。