AutoGlow等离子体系统

AutoGlow等离子体系统是桌面等离子体化学反应器的设计与等离子在价格适中的技术，提供医疗，科研，教育和生产微电子社区。 该系统用于生产以及研发中心。 使用氩离子，氧离子，等离子喷涂，硅橡胶，氧等离子体处理，光阻剥离，足总杯应用，聚对二甲苯去除，有机物的去除和实验室使用。

世界各地的大学和公司发现的AutoGlow等离子体系统血浆需求的完美契合。

AutoGlow等离子体系统是因为其变量的10瓦至300瓦 ，13.56兆赫固态发生器在同类市场上最有效的系统。 AutoGlow等离子体系统的设计也能够有效地击穿气体引入系统，建立反应的物种将迅速清理或修改样本。 包括自动调谐和压力读数。 AutoGlow可以罢工高达10瓦的低等离子体！

自动/按键式操作。

夜光研究已旧系统的最佳设计，并与目前的技术更新AutoGlow等离子体系统，包括我们专有的相幅度探测器和SimpleMatch射频网络，使高效等离子体调整，并提供不麻烦不断调整各种样品进行快速处理负载。的AutoGlow是非常可靠的，并有两年保修！ 系统的容易replaceble模块：RF发生器，RF匹配网络，面盘模块（见下文），石英商会和天然气控制模块更多的数据和信息，请点击此页面上的的“AutoGlow特色”的权利。 。

AutoGlow 200系统设计为200毫米基板或8“晶圆 ，并可以执行RIE或血浆 处理，这取决于样品载体。 阳极氧化铝厅accomidate蚀刻应用的标准氧气，氩气或CF4的气体类型。 充分证明电子，射频发生器，匹配网络和气体的控制是作为标准AutoGlow以上相同。 请联系上AutoGlow 200的更多信息夜光研究。

 

 

 

 

 

麻省理工学院的Stata中心AutoGlow用于各种生物医学和微流体研究。 图为杰拉尔丁·保卢斯在麻省理工学院66号楼（朗道大厦实验室），在负责AutoGlow的博士生。

 

 

 

“莱斯大学在的哈拉斯研究实验室AutoGlow。系统使用聚合物去除抗拒Plasmonics公司和纳米光子学的应用。​​图为莉萨·布朗，博士生谁使用的AutoGlow的准备样品表面增强分子光谱。 “

哈佛大学在戈登麦凯实验室AutoGlow系统。 该系统用于去除有机物，表面改性和服务的DNA研究和人类基因组测序工作的一些研究人员的需求。 图为戈登·惠特洛克，夜光研究主席。

图为AutoGlow在麻省理工学院微系统技术实验室。 这AutoGlow用于光阻去除，清洗和表面改性。 这个实验室做研究在MEMS，微机电，纳米技术和光子学。