AutoGlow特点

注意在室气体的分布状态管 - 这个过程中均匀的帮助。

AutoGlow等离子体系统固态电子,更新的天然气输送方案和技术,由世界各地的用户和安全人员的预期。 腔大小是144.27毫米直径由186.94毫米深(7.36)(5.68)和高纯度石英制成。 系统和室设计相比其他台式等离子系统时,增加一致性和可重复性。 也可以是一个较大的腔。

在AutoGlow等离子体系统的设计要么低功率或高功率变量10-300瓦 ,13.56兆赫固态发生器,使AutoGlow等离子体系统市场上同类系统中最有效的运作。

  • 小,表上的系统
  • 变10至300瓦,柔和或更积极的处理在13.56兆赫
  • 商会提出的高纯度石英
  • 固态电子没有管
  • 专有的快速调整的固态探测器
  • 高效等离子处理的自动调谐
  • 压力读出易于加工
  • 定时器
  • 显示正向和反射功率和射频设点
  • AutoTell诊断卡,提高正常运行时间
  • 改进的均匀气体分布商会
  • 软排气孔,以防止压力爆裂
  • 可选气体控制模块三气输入
  • 均匀等离子体快速和有效的结果
  • 专有的RF发生器和最小的反射功率匹配网络,无论功率设置
  • SimpleMatch匹配网络的快速调整
  • 前视图门内置防紫外线
  • 系统充分的特点,可重复的结果
  • 易于理解,操作方便
  • 所有电子插件板维修方便
  • 启动支持
  • 启动视频
  • 完整的手册和文件
  • 24个月保修
设计的AutoGlow开始在系统上所使用的板材。 金属锌涂层和

钣金处理和屏蔽,以确保妥善的射频design.cured,以确保适当与正确的电气接触油漆粘接。 在这样的方式来增加金属对金属接触,消除RF泄漏被屏蔽的金属柜。 这意味着,将罢工AutoGlow等离子体迅速,不论样品负荷。 正确的RF调谐开始,橱柜的设计。 AutoGlow是模块化的。 射频发生器可以很容易地从系统背面。 总商会,可以很容易地删除。 所有的系统电子是一个可更换板(前显示面板)。 只需要连接的电器,真空和气体(所有)。 只需插上交流电源插头,CONECT真空泵和你的气......你是准备处理您的样品。

 

 

 

 

 

 

射频匹配网络是极其快速的电容器转动360度,允许的AutoGlow调整非常快,无论处理室的负荷内。

供电顶端电极和底部电极是接地而产生的一种化学过程。 从低至10瓦,可以运行的AutoGlow为温柔加工,或更积极的处理300瓦的高。

典型的等离子体辉光。 石英房门具有防紫外线,以满足新的安全标准