HTTP/1.0 200 OK Accept-Ranges: none Content-Location: http://glowresearch.org/autoglow-plasma-system/features Content-Type: text/html; charset=UTF-8 Date: Thu, 03 May 2012 04:20:22 GMT X-Frame-Options: ALLOWALL Set-Cookie: PREF=ID=df0f05ee5d0e7efa:TM=1336018822:LM=1336018823:S=gsP-QqJtgO_5cQoE; expires=Sat, 03-May-2014 04:20:23 GMT; path=/; domain=translate.googleusercontent.com X-Content-Type-Options: nosniff Server: HTTP server (unknown) Cache-Control: private X-XSS-Protection: 1; mode=block Expires: Thu, 03 May 2012 04:20:22 GMT AutoGlow特色|夜光研究等离子体系统

AutoGlow特点

AutoGlow等离子体系统固态电子，更新的天然气输送方案和技术，由世界各地的用户和安全人员的预期。 室尺寸较大，可容纳6“基板和160毫米（ID）直径x深186.94毫米（ID）和高纯度石英制成。 系统和室设计相比其他台式等离子系统时，增加一致性和可重复性。

在AutoGlow等离子体系统的设计要么低功率或高功率变量10-300瓦 ，13.56兆赫固态发生器，使AutoGlow等离子体系统市场上同类系统中最有效的运作。 操作者可以运行一个过程，在10瓦或300瓦的更积极的处理为高。 可以调整增量为1瓦的功率。

  • 小，表上的系统
  • 变10至300瓦，柔和或更积极的处理在13.56兆赫
  • 商会提出的高纯度石英
  • 固态电子没有管
  • 专有的快速调整的固态探测器
  • 高效等离子处理的自动调谐
  • 压力读出易于加工
  • 定时器
  • 显示正向和反射功率和射频设点
  • AutoTell诊断卡，提高正常运行时间
  • 改进的均匀气体分布商会
  • 软排气孔，以防止压力爆裂
  • 可选气体控制模块三气输入
  • 均匀等离子体快速和有效的结果
  • 专有的RF发生器和最小的反射功率匹配网络，无论功率设置
  • SimpleMatch匹配网络的快速调整
  • 前视图门内置防紫外线
  • 系统充分的特点，可重复的结果
  • 易于理解，操作方便
  • 所有电子插件板维修方便
  • 启动支持
  • 启动视频
  • 完整的手册和文件
  • 24个月保修

设计的AutoGlow开始在系统上使用的金属板，金属板材处理和屏蔽，以确保正确的RF设计。
在这样的方式来增加金属对金属接触，消除RF泄漏被屏蔽的金属柜。 这意味着，将罢工AutoGlow等离子体迅速，不论样品负荷。 正确的RF调谐开始，橱柜的设计。
AutoGlow是模块化的。 射频发生器可以很容易地从系统背面。 总商会，可以很容易地删除。 所有的系统电子是一个可更换板（前显示面板）。 只需要连接的电器，真空和气体（所有）。 只需插上交流电源插头，连接真空泵和你的气......你是准备处理您的样品。

诊断卡确认，所有的模块都正常工作。

 

 

 

 

 

射频匹配网络是极其快速的电容器转动360度，允许的AutoGlow调整非常快，无论处理室的负荷内。

供电顶端电极和底部电极是接地而产生的一种化学过程。 从低至10瓦，可以运行的AutoGlow温和的处理，或作为 高为300瓦的更积极的处理。

所有的电子产品是一个电子板。 此板安装前控制面板的背面。 前面板组件可以很容易地更换。