夜光研究专业Tegal的,3月和研发等离子系统。 通常在库存重建Tegal的901e和903e系统。
夜光几个上了年纪的等离子系统研究已在世界各地广泛的零部件和服务支持,从三月等离子体系统公司(三月,超级疟原虫疟原虫,PM-600和木星刻蚀系统)。
这项协议允许辉光研究的能力,我们重建的三月系统提供保证。
最近Tegal的901e客户评论:
“我们购买了从发光研究Tegal的901e系统。 随意,更何况我们作为一个快乐的客户对您的网站。“......埃里克·韦斯,PANJIT美洲公司
三月疟原虫 三月疟原虫与150瓦,13.56 MHz的发电机。 用高硼硅5.8桶式等离子系统“(直径)×7”(深)室。 耐热房门安装在前门的内侧容易访问和处理。 具有易于加工的匹配网络的自动调整。 模拟面板米。 115V,50/60 [...]
3月AP-1000 重建三月AP-1000的S / N P100199制造:2005年3月高级能源ACG6B,600瓦的射频发生器,13.56兆赫,13.56兆赫固态2质量流量控制器(波特)的阻抗自动匹配的电源,250 SCCM和500。 SCCM光之塔莱宝Trivac泵模型D65BCS,Fomblin型油阿尔卡特油除雾器,中耳炎40S准备[...]
CS-1701三月 三月CS-1701三月CS-1701系统仍然支持诺信3月和灼热研究刻蚀系统重建这个体系的最高标准。 售后支持可与诺信3月全球范围内承包。 安装援助,支持由夜光研究。 这种新的风格3月CS-1701已更新盖电梯气歧管[...]
等离子清洗机 和Asher AutoGlow血浆清洁。 10至300瓦,自动调节,诊断,直径160毫米。 石英腔,压力显示,定时器关闭,CE标志,电容耦合,24个月的保修。 等离子清洗,灰化或去除有机物大。
三月木星 三月木星第二刻蚀。 AE 600瓦的射频发生器,四个质量流量控制器,自动调整,定时器,终点检测,Baratron压力控制,终点控制和微处理器控制。 4“或6”。 全力支持,重建,30天的保修期。 准备蚀刻!
Tegal的903e 盒式卡带行单晶片等离子体刻蚀机。 蚀刻孔和接触的能力。 蚀刻二氧化硅,硅氮化物,聚酰胺。 系统正在出售适当的便利和操作咨询。 系统运行,并可以在我们的客户支援中心在亚利桑那州的梅萨,证明。 各种升级,以适应您的特定需求。 [...]
Tegal的901e 盒式磁带多晶硅/氮化硅等离子体刻蚀机。 系统运行,并可以证明。 目前配置为4(100毫米)晶圆。 埃尼集团1000瓦13.56 MHz的RF发生器。 20工艺配方的能力,工艺气体控制由MFC的TYLAN非摩擦铲取放晶圆运输。 莱宝D65,氧气服务泵Tegal的闭回路温度控制器图表记录[...]
地址: 12014与35 CT。 亚利桑那州凤凰城。 85044 美国
电话: 480-621-8405
电子邮件: customerservice@glowresearch.org
重建系统
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3月AP-1000
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CS-1701三月
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等离子清洗机
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三月木星
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Tegal的903e
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