Tegal的903e

盒式卡带行单晶片等离子体刻蚀机。 蚀刻孔和接触的能力。 蚀刻二氧化硅，硅氮化物，聚酰胺。 系统正在出售适当的便利和操作咨询。 系统运行，并可以在我们的客户支援中心在亚利桑那州的梅萨，证明。 各种升级，以适应您的特定需求。

可以处理从3英寸到6英寸目前配置4英寸晶圆的晶圆。

• 微处理器控制
• 目前配置为4英寸（100毫米）晶圆。
• 埃尼集团1000瓦特13.56 MHz的RF发生器。
• 20工艺配方能力
• 由Tylan MFC的控制过程气体
• 非摩擦铲取放晶圆运输。
• 莱宝D65，氧气服务泵（可用可选的干式泵）
• Tegal的两个闭环温度控制器
• DEC显示器和键盘
• 非摩擦铲取放晶圆运输。
• 手册包括，208伏，50/60赫兹

（出售等候）