SputterGlow特点

• 反应溅射沉积的Si ₃ N _4的或其他电影
• 无需硅烷气体
• 在实验室容易方便，无有害气体需要
• 最多3个目标
• 存款介质或金属
• 200毫米晶圆（或更小）或156毫米x 156毫米的太阳能电池
• 暖气选项（高达400摄氏度）
• 1200瓦，13.56 MHz的射频发生器
• 自动调整
• 涡轮增压和前级泵
• 水冷式磁控溅射
• 步进控制基板处理
• 计算机或手动控制仪表
• MFC控制气体
• LED诊断

选项

• 衬底偏压
• RGA
• 循环目标冷却
• 视口窗口

所有SputterGlow系统配备了12个月的保修，使用说明书，设置适当的体制和运行视频。 发光的研究也将提供现场服务支持，为系统启动。

欲了解更多信息，请致电夜光研究美国480-621-8405或电邮给我们 。