AutoGlow等離子體系統

AutoGlow等離子體系統是桌面等離子體化學反應器的設計與等離子在價格適中的技術，提供醫療，科研，教育和生產微電子社區。 該系統用於生產以及研發中心。 使用氬離子，氧離子，等離子噴塗，矽橡膠，氧等離子體處理，光阻剝離，足總杯應用，聚對二甲苯去除，有機物的去除和實驗室使用。

世界各地的大學和公司發現的AutoGlow等離子體系統血漿需求的完美契合。

AutoGlow等離子體系統是因為其變量的10瓦至300瓦 ，13.56兆赫固態發生器在同類市場上最有效的系統。 AutoGlow等離子體系統的設計也能夠有效地擊穿氣體引入系統，建立反應的物種將迅速清理或修改樣本。 包括自動調諧和壓力讀數。 AutoGlow可以罷工高達10瓦的低等離子體！

自動/按鍵式操作。

夜光研究已舊系統的最佳設計，並與目前的技術更新AutoGlow等離子體系統，包括我們專有的相幅度探測器和SimpleMatch射頻網絡，使高效等離子體調整，並提供不麻煩不斷調整各種樣品進行快速處理負載。的AutoGlow是非常可靠的，並有兩年保修！ 系統的容易replaceble模塊：RF發生器，RF匹配網絡，面盤模塊（見下文），石英商會和天然氣控制模塊更多的數據和信息，請點擊此頁面上的的“AutoGlow特色”的權利。 。

AutoGlow 200系統設計為200毫米基板或8“晶圓 ，並可以執行RIE或血漿 處理，這取決於樣品載體。 陽極氧化鋁廳accomidate蝕刻應用的標準氧氣，氬氣或CF4的氣體類型。 充分證明電子，射頻發生器，匹配網絡和氣體的控制是作為標準AutoGlow以上相同。 請聯繫上AutoGlow 200的更多信息夜光研究。

 

 

 

 

 

麻省理工學院的Stata中心AutoGlow用於各種生物醫學和微流體研究。 圖為杰拉爾丁·保盧斯在麻省理工學院66號樓（朗道大廈實驗室），在負責AutoGlow的博士生。

 

 

 

“萊斯大學在的哈拉斯研究實驗室AutoGlow。系統使用聚合物去除抗拒Plasmonics公司和納米光子學的應用。圖為莉薩·布朗，博士生誰使用的AutoGlow的準備樣品表面增強分子光譜。 “

哈佛大學在戈登麥凱實驗室AutoGlow系統。 該系統用於去除有機物，表面改性和服務的DNA研究和人類基因組測序工作的一些研究人員的需求。 圖為戈登·惠特洛克，夜光研究主席。

圖為AutoGlow在麻省理工學院微系統技術實驗室。 這AutoGlow用於光阻去除，清洗和表面改性。 這個實驗室做研究在MEMS，微機電，納米技術和光子學。