AutoGlow等離子體系統固態電子，更新的天然氣輸送方案和技術，由世界各地的用戶和安全人員的預期。 室尺寸較大，可容納6“基板和160毫米（ID）直徑x深186.94毫米（ID）和高純度石英製成。 系統和室設計相比其他台式等離子系統時，增加一致性和可重複性。
在AutoGlow等離子體系統的設計要么低功率或高功率變量10-300瓦 ，13.56兆赫固態發生器，使AutoGlow等離子體系統市場上同類系統中最有效的運作。 操作者可以運行一個過程，在10瓦或300瓦的更積極的處理為高。 可以調整增量為1瓦的功率。
診斷卡確認，所有的模塊都正常工作。
射頻匹配網絡是極其快速的電容器轉動360度，允許的AutoGlow調整非常快，無論處理室的負荷內。
供電頂端電極和底部電極是接地而產生的一種化學過程。 從低至10瓦，可以運行的AutoGlow溫和的處理，或作為 高為300瓦的更積極的處理。
地址： 12014與35 CT。 亞利桑那州鳳凰城。 85044 美國
電話： 480-621-8405
電子郵件： customerservice@glowresearch.org
AutoGlow特點
AutoGlow等離子體系統固態電子，更新的天然氣輸送方案和技術，由世界各地的用戶和安全人員的預期。 室尺寸較大，可容納6“基板和160毫米（ID）直徑x深186.94毫米（ID）和高純度石英製成。 系統和室設計相比其他台式等離子系統時，增加一致性和可重複性。
在AutoGlow等離子體系統的設計要么低功率或高功率變量10-300瓦 ，13.56兆赫固態發生器，使AutoGlow等離子體系統市場上同類系統中最有效的運作。 操作者可以運行一個過程，在10瓦或300瓦的更積極的處理為高。 可以調整增量為1瓦的功率。
診斷卡確認，所有的模塊都正常工作。
射頻匹配網絡是極其快速的電容器轉動360度，允許的AutoGlow調整非常快，無論處理室的負荷內。
供電頂端電極和底部電極是接地而產生的一種化學過程。 從低至10瓦，可以運行的AutoGlow溫和的處理，或作為
高為300瓦的更積極的處理。