罰金criminal fine剝奪光阻

AutoGlow等離子體系統，可用於光阻。 大多數用戶使用氧等離子體去除從晶圓多種類型的光致抗蝕劑（矽，砷化鎵，碳化矽，氮化矽基片）。 AutoGlow等離子體系統的自動化設計將允許容易和無人操作。

低溫灰化是一個準備各種各樣的分析方法樣品的有效手段。 輕輕地，將一個氧等離子體氧化有機物質，使無機物落後。 離開完整的三維結構分析顯微鏡，如植物或動物組織樣品可灰化。 灰化率是每小時約一克，所以AutoGlow等離子體系統的自動調諧功能是非常適合無人值守的操作。 AutoGlow等離子體系統，可用於清潔傳輸細胞，窗口和顯微鏡幻燈片。