夜光研究專業Tegal的，3月和研發等離子系統。 通常在庫存重建Tegal的901e和903e系統。
夜光幾個上了年紀的等離子系統研究已在世界各地廣泛的零部件和服務支持，從三月等離子體系統公司（三月，超級瘧原蟲瘧原蟲，PM-600和木星刻蝕系統）。
這項協議允許輝光研究的能力，我們重建的三月系統提供保證。
最近Tegal的901e客戶評論：
“我們購買了從發光研究Tegal的901e系統。 隨意，更何況我們作為一個快樂的客戶對您的網站。“......埃里克·韋斯，PANJIT美洲公司
三月瘧原蟲 三月瘧原蟲與150瓦，13.56 MHz的發電機。 用高硼矽5.8桶式等離子系統“（直徑）×7”（深）室。 耐熱房門安裝在前門的內側容易訪問和處理。 具有易於加工的匹配網絡的自動調整。 模擬面板米。 115V，50/60 [...]
3月AP-1000 重建三月AP-1000的S / N P100199製造：2005年3月高級能源ACG6B，600瓦的射頻發生器，13.56兆赫，13.56兆赫固態2質量流量控制器（波特）的阻抗自動匹配的電源，250 SCCM和500。 SCCM光之塔萊寶Trivac泵模型D65BCS，Fomblin型油阿爾卡特油除霧器，中耳炎40S準備[...]
CS-1701三月 三月CS-1701三月CS-1701系統仍然支持諾信3月和灼熱研究刻蝕系統重建這個體系的最高標準。 售後支持可與諾信3月全球範圍內承包。 安裝援助，支持由夜光研究。 這種新的風格3月CS-1701已更新蓋電梯氣歧管[...]
等離子清洗機 和Asher AutoGlow血漿清潔。 10至300瓦，自動調節，診斷，直徑160毫米。 石英腔，壓力顯示，定時器關閉，CE標誌，電容耦合，24個月的保修。 等離子清洗，灰化或去除有機物大。
三月木星 三月木星第二刻蝕。 AE 600瓦的射頻發生器，四個質量流量控制器，自動調整，定時器，終點檢測，Baratron壓力控制，終點控制和微處理器控制。 4“或6”。 全力支持，重建，30天的保修期。 準備蝕刻！
Tegal的903e 盒式卡帶行單晶片等離子體刻蝕機。 蝕刻孔和接觸的能力。 蝕刻二氧化矽，矽氮化物，聚酰胺。 系統正在出售適當的便利和操作諮詢。 系統運行，並可以在我們的客戶支援中心在亞利桑那州的梅薩，證明。 各種升級，以適應您的特定需求。 [...]
Tegal的901e 盒式磁帶多晶矽/氮化矽等離子體刻蝕機。 系統運行，並可以證明。 目前配置為4（100毫米）晶圓。 埃尼集團1000瓦13.56 MHz的RF發生器。 20工藝配方的能力，工藝氣體控制由MFC的TYLAN非摩擦鏟取放晶圓運輸。 萊寶D65，氧氣服務泵Tegal的閉迴路溫度控制器圖表記錄[...]
地址： 12014與35 CT。 亞利桑那州鳳凰城。 85044 美國
電話： 480-621-8405
電子郵件： customerservice@glowresearch.org
重建系統
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3月AP-1000
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CS-1701三月
三月CS-1701三月CS-1701系統仍然支持諾信3月和灼熱研究刻蝕系統重建這個體系的最高標準。 售後支持可與諾信3月全球範圍內承包。 安裝援助，支持由夜光研究。 這種新的風格3月CS-1701已更新蓋電梯氣歧管[...]
等離子清洗機
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三月木星
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Tegal的903e
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Tegal的901e
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