Tegal的903e

盒式卡帶行單晶片等離子體刻蝕機。 蝕刻孔和接觸的能力。 蝕刻二氧化矽，矽氮化物，聚酰胺。 系統正在出售適當的便利和操作諮詢。 系統運行，並可以在我們的客戶支援中心在亞利桑那州的梅薩，證明。 各種升級，以適應您的特定需求。

可以處理從3英寸到6英寸目前配置4英寸晶圓的晶圓。

  • 微處理器控制
  • 目前配置為4英寸（100毫米）晶圓。
  • 埃尼集團1000瓦特13.56 MHz的RF發生器。
  • 20工藝配方能力
  • 由Tylan MFC的控制過程氣體
  • 非摩擦鏟取放晶圓運輸。
  • 萊寶D65，氧氣服務泵（可用可選的幹式泵）
  • Tegal的兩個閉環溫度控制器
  • DEC顯示器和鍵盤
  • 非摩擦鏟取放晶圓運輸。
  • 手冊包括，208伏，50/60赫茲

（出售等候）