SputterGlow特點

  • 反應濺射沉積的Si 3 N 4的或其他電影
  • 無需矽烷氣體
  • 在實驗室容易方便，無有害氣體需要
  • 最多3個目標
  • 存款介質或金屬
  • 200毫米晶圓（或更小）或156毫米x 156毫米的太陽能電池
  • 暖氣選項（高達400攝氏度）
  • 1200瓦，13.56 MHz的射頻發生器
  • 自動調整
  • 渦輪增壓和前級泵
  • 水冷式磁控濺射
  • 步進控制基板處理
  • 計算機或手動控制儀表
  • MFC控制氣體
  • LED診斷

選項

  • 襯底偏壓
  • RGA
  • 循環目標冷卻
  • 視口窗口

所有SputterGlow系統配備了12個月的保修，使用說明書，設置適當的體制和運行視頻。 發光的研究也將提供現場服務支持，為系統啟動。

欲了解更多信息，請致電夜光研究美國480-621-8405或電郵給我們 。